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由于單一的真空泵不能滿(mǎn)足工作或?qū)嶒?yàn)所需要的特定環(huán)境，所以需要通過(guò)不同的真空泵來(lái)承擔(dān)各自的任務(wù)，讓整個(gè)系統(tǒng)能夠和協(xié)同統(tǒng)一的完成工作。

根據(jù)它們各自的作用，可以將真空泵分為以下幾種：

主泵

所謂主泵就是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿(mǎn)足工藝要求所需真空度的真空泵。

粗抽泵

粗抽泵是指從大氣壓開(kāi)始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開(kāi)始工作的真空泵。

前級(jí)泵

前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其比較高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。

維持泵

維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來(lái)維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。

增壓泵

增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。

通過(guò)這些真空泵的共同作用，一級(jí)一級(jí)的提供良好的工作條件，比較終達(dá)到工作所需求的真空環(huán)境。