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　　無(wú)油真空泵因?yàn)轶w積小通常把無(wú)油真空泵叫做微型真空泵。無(wú)油真空泵具備一進(jìn)一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個(gè)，并且在進(jìn)口處能夠持續(xù)形成真空或負(fù)壓;排氣嘴處形成微正壓;工作介質(zhì)主要為氣體，體積小巧的一種儀器。

　　無(wú)油真空泵直聯(lián)旋片真空泵，是一種旋片式單級(jí)真空泵。用來(lái)抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設(shè)備，比較大的優(yōu)點(diǎn)是不返油，對(duì)被抽空間沒(méi)有油蒸汽污染，不噴油，沒(méi)有油蒸汽從泵口排出，不污染環(huán)境，屬于環(huán)保類產(chǎn)品，因此發(fā)展前景很好，被稱為二十一世紀(jì)“綠色真空泵”。

　　無(wú)油真空泵不適用于抽除對(duì)黑色金屬有腐蝕的，對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過(guò)高，有爆炸性的有毒氣體，更不能作為傳輸泵使用。