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對(duì)于前級(jí)泵和預(yù)抽泵的關(guān)系不明確的人來說,可能會(huì)認(rèn)為它們是同一種產(chǎn)品,因?yàn)樗鼈兌加兄鵀橹鞅米龊脺?zhǔn)備工作的作用。但是它們是不同的兩種泵,并不能混為一談。
前級(jí)泵的作用是在主泵出口處造成的壓強(qiáng)低于主泵的比較大排氣壓強(qiáng),并保證始終及時(shí)地排出主泵所排出的氣體流量。因?yàn)轭A(yù)抽泵也有為主泵工作,抽到預(yù)備真空的作用,所以當(dāng)預(yù)抽泵抽速不大于前級(jí)泵抽速時(shí),可以用前級(jí)泵兼做預(yù)抽泵,但是反之則不行。因?yàn)轭A(yù)抽泵在為鈦泵和低溫泵之類的主泵達(dá)到預(yù)備真空時(shí),就可以停掉。
當(dāng)僅使用前級(jí)泵的時(shí)候,即前級(jí)泵兼作預(yù)抽真空泵,則還要滿足預(yù)抽時(shí)間和預(yù)抽真空度的要求。如果是兩者共同作用,除了要滿足上述前級(jí)泵的要求外,預(yù)抽泵的抽速要讓整個(gè)系統(tǒng)能將真空室在(一般為10~15min)時(shí)間內(nèi)抽到所要求的預(yù)真空度,即整體速率減去前級(jí)泵的速率。
要分清前級(jí)泵和預(yù)抽泵的關(guān)系,不能將兩者混為一談,應(yīng)該使用哪種設(shè)備就用哪種!