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前級泵的作用是降低羅茨真空泵的排出壓力,使羅茨真空泵的進、排氣壓差和壓縮比被控制在一定范圍內(nèi)。因此,為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的前級泵抽速配置。
前級泵抽速選擇排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的比較大氣體量排走,根據(jù)羅茨真空泵機組的長期工作壓力范圍來考慮。
另外應當考慮的是,對預抽時間長短的要求問題,如果正常工作時間遠比預抽時間長,可選較小的前級泵,假如真空室較大,而且要求很快達到預抽真空度,就要用較大的前級泵。還有必須要注意的是羅茨泵的實際運行時的壓差不得超過其比較大允許壓差,一般建議控制在75%以下,否則羅茨泵會出現(xiàn)過熱、過載或咬死等情況。